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明遠精密科技主要業務為
| 1.半導體設備之功率源及副系統 維修服務及買賣。RF/ Microwave /DC power supply, Ozone generator, Ozone sensor, CMP motor, ETO system, RPS。 |
3.技術服務a. ETO syetm 故障分析及排除 b. 半導體製程電漿特性量測及分析 c. 訓練課程 |
| 2.系統功能提昇及改善a. ETO system. b. RPS |
4.自有產品a. RPS performance monitor b. microwave power system monitor |