技术服务

明远提供客户解决特殊问题的专业技术服务如:
 1. ETO系统诊断及功能提升;
 2. 制程电浆光谱量测及分析;
 3. RPS系统改进及监测设备;
 4. 电浆制程微波系统监测及分析
 5. 训练课程:
   a. Plasma sources and application.
   b. RF/Microwave power system and impedance matching.
   c. Basic plasma physics and applications.
   d. The principle and characteristics of MKS remote plasma source.
   e. Introduction of MKS ozone generators.
如有需求请填写询问单,我们将立刻与您联系。

询问单
联络资讯: ("*" 栏位必填)
 
 
.需求描述*