技術服務

明遠提供客戶解決特殊問題的專業技術服務如:
 1. ETO系統診斷及功能提昇;
 2. 製程電漿光譜量測及分析;
 3. RPS系統改進及監測設備;
 4. 電漿製程微波系統監測及分析
 5. 訓練課程:
   a. Plasma sources and application.
   b. RF/Microwave power system and impedance matching.
   c. Basic plasma physics and applications.
   d. The principle and characteristics of MKS remote plasma source.
   e. Introduction of MKS ozone generators.
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