明远精密科技主要业务领域为
1.半导体设备之功率源及副系统
设备维修服务。
RF/ Microwave /DC power supply, Ozone generator, Ozone sensor, CMP motor, ETO system, RPS。
3.技术服务a. ETO system 固障分析及排除
b. 半导体制程电浆特性量测及分析
c. 训练课程
2.系统功能提升及改善a. ETO system.
b. RPS
4.自有产品a. RPS performance monitor
b. microwave power system monitor